晶圆硅片超声波清洗机合作案例-洁盟清洗设备

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晶圆硅片超声波清洗机合作案例

设备名称：五槽全自动超声波清洗机
清洗工件：晶圆
清洗工艺：上料→超声波清洗→超声波清洗→超声波漂洗→超声波漂洗→热风烘干→下料
本设备(半导体全自动晶圆超声波清洗机)主要由PLC控制系统、超声波清洗系统、热风烘干系统、单臂机械手系统、上下料台等构成。

合作企业是一家从事碳化硅单晶材料研发、生产和销售的企业，主营产品有N型碳化硅衬底、半绝缘型碳化硅衬底、碳化硅晶体。作为首次合作的客户，南砂晶圆在众多超声波清洗机厂家中选择洁盟，这无疑是对洁盟实力和产品质量及服务能力最好的证明。我们真诚地期望通过此次的合作，进一步增加彼此的了解和友谊，后续在更广的领域开展合作，实现共同发展。

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