一种自动化多工位硅片清洗工艺,采用水基溶液、混合溶剂或去离子水等清洗介质,利用超声波、鼓泡、喷淋等清洗工艺,去除硅片表面的污染物,然后再通过在线加热器将氮气加热后,从烘干槽上部喷出对硅片进行干燥处理。
工艺流程:上料→超声波清洗→鼓泡清洗→喷淋清洗→氮气烘干→下料
咨询
微信
QQ
顶部
Copyright © 2007 - 2024 深圳洁盟技术股份有限公司 版权所有
粤ICP备10070201号
粤公网安备44030002003336
隐私政策
网站地图
技术支持